未来几年称重传感器及仪表应实现
全国目前有1600多家企事业单位从事传感器和仪表元器件的研制、开发、生产。但与国外相比,我国仪表元器件和传感器产品品种和质量水平比较落后,还不能满足国内市场的需求。
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存在的问题有:
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(1)科技创新差,核心制造技术远比不上国外,拥有自主知识产权的产品品种少。
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(2)投资强度偏低,生产工艺装备和科研设备落后,成果水平低,产品质量差。
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(3)科技与生产脱节,对科研成果的转化有一定的影响,综合实力较低。
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战略目标
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称重传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标:
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(1)以工业控制、汽车、环保、通讯、为重点服务领域,以传感器、弹性元件、专用电路、光学元件为重点对象,发展拥有自主知识产权的原创性技术和产品;
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(2)以MEMS工艺为重点对象,以集成化、网络化和智能化技术为依托,加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发,使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平;
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(3)以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标,加速产业化,使国产传感器和仪表元器件的品种占有率达到70%~80%,高档产品达60%以上。
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发展重点
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传感器技术
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(1)新一代固态传感器微结构制造工艺和MEMS工艺:IGP工艺或深反应离子刻蚀(DRIE)工艺;封装工艺:如无应力微薄结构封装、常温键合倒装焊接、多芯片组装工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学传感器等。
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(2)多变量复合
传感器微结构集成制造工艺和集成工艺;工业控制用多变量复合传感器,如:压力、静压、气压、风力、温度、高列传感器。
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(3)智能化技术与智能传感器信号有线或无线探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯、自诊断等自动化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器和各种智能传感器、变送器。
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(4)网络化技术和网络化传感器、传感器网络化技术;网络化传感器,使传感器具有工业化标准接口和协议功能。
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仪表元器件
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(1)完善新型成型工艺和开发弹性元件:电沉积成型工艺,焊接成型工艺;重点开发航空、航天用的低刚度、长寿命、大位移的微小型精密波纹管,高温高压阀用波纹管;研制波纹管高效成型工艺设备和性能检测仪器。
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(2)光学元件开发先进工艺:制造技术、非球面光学元件设计、光学多层测射镀膜技术和新型离子辅助镀膜技术。开发光纤通讯和数字成像用新型光学元件,如:微型变密度滤光片、超窄带滤光片,微透镜阵列、大面积偏振元件、非球面玻-塑混合透镜。
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(3)专用电路提高个性化服务的设计技术和专用电路集成度和制造工艺;采用软件固化技术,开发适合智能化、仪表和网络化传感器的信号变换、补偿、线性化、网络接口、通讯等专用电路。
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